集微网消息，SEMICON China 2023于2023年6月29日-7月1日在上海新国际博览中心E1-E7馆盛大举行。展会汇聚国内Foundry、存储及IC设计三大顶级半导体领域厂商与行业大咖，是了解全球产业格局、前沿技术与市场走势，纵观全球业界领袖智慧和视野的优秀平台。作为业内领先的半导体晶圆传输设备供应商，泓浒（苏州）半导体科技有限公司（以下简称“泓浒半导体”）携创新的国产传输设备和核心零部件研发成果亮相本次展会。

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在本场展会上，泓浒半导体展出的国产化晶圆传输设备（Sorter/EFEM），成为展会上的一道亮点。

据悉，泓浒半导体自主研发的设备前端模块（EFEM）、晶圆传片机（Sorter）拥有多项优势：可根据用户功能要求，提供定制化传送解决方案提供多种配置选型，包括机架、承载台、洁净机器人、晶圆夹持方式、净化微环境等；可提供特殊工艺制程传送解决方案，包括耐高温、耐腐蚀等；可提供TMC软件定制化开发；可提供100/150/200/300mm多规格晶圆兼容传送方案；具有强大的技术支持能力、多年的售后维护经验、丰富的零部件供应资源等等，为客户提供更丰富细致的服务。

据了解，晶圆传输模块是所有的半导体制程、检测设备都必不可少的关键组成部分，目前，该设备的高端机型均被国外供应商垄断。泓浒半导体针对晶圆传输设备领域积极研发，突破国外技术垄断，实现了这一领域关键设备和零部件的国产替代。

致力晶圆传输设备研发和制造，突破国外技术垄断

泓浒半导体于2016年在江苏苏州成立，是一家专注半导体晶圆传输自动化设备研发和制造，致力于晶圆传输设备及核心零部件国产化的国家高新技术企业。公司主要产品包括设备前端模块（EFEM）、晶圆传片机（Sorter）、真空传输平台（VTM）、半导体核心精密传输部件等。

泓浒半导体立足于自主研发，晶圆传输设备（Sorter/EFEM）在半导体设备前、中、后道工艺均有产品使用。特别是8/12英寸晶圆分选设备已进入国产主流大硅片生产线及先进封装线。

在晶圆传输设备翻新和维护领域，泓浒半导体积累了15年丰富经验，尤其是在机械手臂领域拥有多项独家授权和实用专利。依托苏州总部维修中心的技术支持，泓浒半导体在北京、上海等半导体产业聚集的地区建立了自己的快修中心，更好地为客户提供专业的服务。

此外，通过多年积累，泓浒半导体还建立了一套完善的国内外半导体耗材供应体系，为客户提供半导体耗材销售及服务（石墨、密封件等）。

广泛汇聚半导体行业人才，把握未来科技发展命脉

泓浒半导体核心技术团队来自知名半导体晶圆厂和半导体设备公司，对于半导体晶圆制造和自动传输设备研发拥有丰富的从业经验，掌握了自主核心技术，技术水平国内领先。通过多年持续自主研发，泓浒半导体已经完成晶圆传输设备及核心零部件的国产化研发和制造，拥有数十项自主知识产权。公司主营业务设备性能指标达到国际先进水平，并在晶圆装载系统（Loadport/SMIF）、晶圆传输机器人（Robot）、晶圆对准装置（Aligner）等核心关键零部件及软件控制系统实现了自主研发和技术突破。

未来，泓浒半导体将秉承“成为全球领先的半导体自动化领导者 ”的愿景，携手产业链上下游伙伴共同促进实现半导体产业的自强自立和蓬勃发展。

（校对/李梅）